Nanolitografia é uma tecnica utilizada para construçao de estruturas em escala nanometrica, podendo ter desde o tamanho de um unico atomo ate 100 nano metros. Essa tecnica é utilizada na construçao de semicondutores, circuitos integrados e sistemas nano mecanicos. Existem varias tecnicas de nano litografia como Photo litografia, litografia com raio-X e photo litografia entre outras.
Um dos processos mais utlizados é a photolitografia, utilizada inclusive para fazer micro processadores.
O video asseguir mostra um processo semelhante para ilustrar a Photo Litographia
http://www.youtube.com/watch?v=RHAso1yM-D4&feature=related
A photolitografia é uma tecnica de fabricaçao em que um material grande é reduzido a padroes em nano escala, a luz transmite as extruturas para os superficies nanometricas em um processo de projeçao. O que define a produçao é o controle da luz, atravez dela esse processo se torna possivel. Atravez da radiaçao de luz focada em um ponto é possivel imprimir na superficie o formato desejado.
A superficie em escala nanometrica onde a extrutura sera colocada é imersa em uma camada de um liquido chamado Photo Resist. O photo resist forma uma camada que se desfaz sob radiaçao de luz ultra violeta. Uma "mascara" é colocado em frente ao Waffer e luz ultra violeta desfaz parte da camada do foto resist, fazendo um molde. A parte esposta a luz é tirada atravez de um liquido especial e o restante forma as extruturas na superficie desejada.
http://www.youtube.com/watch?v=zFnJQjcnhGQ
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